SEM Coater

Supro Coater สำหรับ SEM เป็นอุปกรณ์เตรียมตัวอย่างเพื่อเคลือบชั้นโลหะนำไฟฟ้าบนพื้นผิวตัวอย่าง ช่วยลดการสะสมประจุและเพิ่มความคมชัดของภาพ SEM สำหรับตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าและโครงสร้าง 3 มิติได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยควบคุมแบบสัมผัสหน้าจอและการหมุน/เอียงตัวอย่างเพื่อการเคลือบที่สม่ำเสมอ

MINI Sputter Coater

โลหะที่สามารถเคลือบได้: ทอง (Au), แพลทินัม (Pt) และพัลลาเดียม (Pd)
เทคโนโลยี Magnetron Sputtering Cathode: ให้การเคลือบที่ละเอียด ลดความเสียหายจากความร้อน
หน้าจอควบคุมแบบสัมผัสอัตโนมัติ: ใช้งานสะดวก ประหยัดเวลา
แท่นวางตัวอย่างแบบหมุน-เอียงดิจิทัล: เหมาะสำหรับการเคลือบตัวอย่าง 3 มิติ ให้ความสม่ำเสมอสูง

J20 Dual-Target Sputter Coater

โลหะที่สามารถเคลือบได้: Au, Pt และ Pd รวมถึงโลหะผสมตามต้องการ เช่น Pt-Au, Pt-Pd เป็นต้น
Dual-Target Magnetron Sputtering: รองรับการเคลือบสองโลหะพร้อมกัน พร้อมสูตรเคลือบ Pt-Au แบบชั้น (Layered Recipe) ที่ได้รับการจดสิทธิบัตร
รองรับตัวอย่างหลากหลาย (SUV in Ion Sputter Coaters): ใช้ได้กับตัวอย่างทุกประเภทอย่างอเนกประสงค์
หัว Target แบบเอียง + แท่นหมุน: ออกแบบมาสำหรับการเคลือบโครงสร้างไมโคร 3 มิติให้มีความสม่ำเสมอสูง

ISC150T Ion Sputter Coater

ISC150T เป็นเครื่องเคลือบตัวอย่างแบบไอออนสปัตเตอร์ระบบสุญญากาศสูง โดยผสานการทำงานของ diaphragm pump และ molecular pump เพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศสูงประมาณ 10^-3 Pa
รองรับการสปัตเตอร์โลหะมีค่า เช่น Au, Pt, Pd รวมถึงโลหะที่ออกซิไดซ์ง่าย เช่น W, Cr, C
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมตัวอย่างสำหรับ FE-SEM ที่ต้องการความละเอียดและกำลังขยายสูง