Energy Dispersive Spectroscopy (EDS)
เป็นเทคนิคการวิเคราะห์องค์ประกอบธาตุที่ได้รับความนิยมอย่างแพร่หลายในงานวิจัยและอุตสาหกรรม โดยทำงานร่วมกับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM/TEM) เพื่อระบุชนิดและปริมาณของธาตุในตัวอย่างได้อย่างแม่นยำ พร้อมทั้งสร้างแผนที่การกระจายตัวของธาตุ (Elemental Mapping) ในระดับไมโครถึงนาโนเมตร