puditec

Park Ellipsometers มีฟีเจอร์เฉพาะหลายอย่างที่ช่วยให้สามารถมองเห็นผิวตัวอย่างแบบเรียลไทม์ โดยคุณจะเห็นโครงสร้างของตัวอย่างในระดับไมโครสเกลได้ทันที พร้อมทั้งสามารถวัดพารามิเตอร์ต่าง ๆ เช่น ความหนา ดัชนีหักเห และการดูดกลืนแสง รวมถึงสามารถสร้างแผนที่ (maps) ของบริเวณที่เลือกได้ นอกจากนี้ ยังสามารถผสานการทำงานร่วมกับเทคโนโลยีอื่น ๆ เช่น AFM, QCM-D, reflectometry, Raman spectroscopy และอื่น ๆ อีกมากมาย เพื่อให้ได้ข้อมูลเชิงลึกยิ่งขึ้นจากตัวอย่างของคุณ

Accurion EP4 เป็นเครื่องมือแบบโมดูลาร์ที่สามารถปรับคอนฟิกให้เหมาะกับงานวัดเฉพาะทางของคุณได้ โดย Accurion EP4 ที่ติดตั้งเลเซอร์มาตรฐานยังสามารถใช้งานเป็น Brewster angle microscope ซึ่งนิยมใช้ในงาน LB (Langmuir-Blodgett) ได้ด้วย.

ทำไมต้องใช้ Ellipsometry?

Ellipsometry เป็นเทคนิคที่วิเคราะห์การเปลี่ยนแปลงของโพลาไรเซชันของแสงหลังสะท้อนจากตัวอย่าง และให้ข้อมูลเกี่ยวกับฟิล์มบางที่มีความบางมากจนบางครั้งน้อยกว่าความยาวคลื่นของแสงที่ใช้ตรวจวัดด้วยซ้ำ

การเปลี่ยนแปลงของแอมพลิจูดและเฟสของแสงที่มีองค์ประกอบแบบ p และ s หลังการสะท้อนจากตัวอย่างนั้นขึ้นอยู่กับสมบัติของฟิล์ม เช่น ความหนา ดัชนีหักเห และการดูดกลืนแสง Ellipsometry ทำการวัดการเปลี่ยนแปลงของแอมพลิจูดและเฟสของแสงที่โพลาไรซ์แบบ s และ p โดยการหมุนส่วนประกอบโพลาไรเซชัน ค่าที่วัดได้คือ psi และ delta ซึ่งต้องนำไปใส่ในโมเดลคอมพิวเตอร์ที่จำลองโครงสร้างวัสดุของตัวอย่าง เพื่อคำนวณความหนา ดัชนีหักเห การดูดกลืน และสมบัติอื่น ๆ อีกหลากหลาย รวมถึงสัณฐานวิทยา คุณภาพผลึก องค์ประกอบทางเคมี และการนำไฟฟ้า
Ellipsometry เป็นเทคโนโลยีที่ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางสำหรับการวัดความหนาของฟิล์มหลายชั้น ดัชนีหักเห และการดูดกลืนแสง.

ทำไมต้องใช้ Imaging Ellipsometry?

Imaging ellipsometry เป็นการผสานเทคโนโลยี microscopy เข้ากับ auto-nulling ellipsometry ด้าน microscopy ช่วยให้สามารถมองเห็นตัวอย่างได้โดยตรงผ่านภาพที่มี ellipsometric contrast พร้อมความละเอียดเชิงพื้นที่เล็กถึง 1 ไมครอน รวมทั้งสามารถวัดพารามิเตอร์ ellipsometric ได้แก่ Delta และ Psi ด้วยความละเอียดเชิงพื้นที่สูงสุดถึงระดับ 1 ไมครอนเช่นกัน

สิ่งนี้ทำให้สามารถวิเคราะห์บริเวณตัวอย่างที่มีขนาดเล็กกว่าอุปกรณ์ ellipsometer แบบ non-imaging ที่ใช้ไมโครสปอตทั่วไปได้ถึง 1,000 เท่า Imaging ellipsometry ช่วยให้สามารถตรวจสอบความแปรผันของพารามิเตอร์ของตัวอย่างในระดับไมโครสเกล เทคโนโลยีนี้สามารถวัดงาน ex-situ แบบเดียวกับ non-imaging ellipsometer ได้ และยังทำได้มากกว่านั้น เหมาะสำหรับงานที่มีโครงสร้างเชิงพื้นที่ขนาด 50 มม. ลงไปจนถึง 1 ไมครอน รวมถึงตัวอย่างแบบแพตเทิร์น หรือชิ้นงานขนาดเล็กมาก เช่น ปลายแคนติลีเวอร์.

Accurion EP4 Unique Features

ความละเอียดเชิงพื้นที่ของ Ellipsometry ที่สูงที่สุด

การผสานเทคโนโลยี microscopy เข้ากับ auto-nulling ellipsometry ช่วยให้ได้ความละเอียดเชิงพื้นที่ในการวัดแบบ ellipsometric เล็กสุดถึงระดับ 1 ไมครอน.

MAGING ELLIPSOMETRY ในช่วงความยาวคลื่น 190–2750 นาโนเมตร

(New Feature)

ด้วยการใช้ grating monochromator ทำให้สามารถทำการวัดแบบสเปกโทรสโกปีได้อย่างต่อเนื่อง.

แพลตฟอร์มบูรณาการเทคโนโลยี

(New Feature)
รองรับการผสานเทคโนโลยีอื่น ๆ เช่น Raman, AFM เป็นต้น เพื่อให้ได้ข้อมูลที่หลากหลายและลึกยิ่งขึ้นจากตัวอย่างของคุณ.

คุณสมบัติเด่นหลากหลาย

(New Feature)

ประกอบด้วยฟีเจอร์และอุปกรณ์เสริมใหม่ ๆ จำนวนมาก ที่ช่วยขยายขอบเขตการใช้งาน ellipsometry ให้ครอบคลุมแอปพลิเคชันใหม่ ๆ ได้มากยิ่งขึ้น.

Accurion EP4 Selected Applications

GRAPHENE, 2D-MATERIALS

Imaging ellipsometry ช่วยให้สามารถมองเห็นเศษวัสดุแบบ 2D (2D-material flakes) บนวัสดุหรือซับสเตรตชนิดต่าง ๆ ได้โดยตรง ทั้งยังสามารถวัดความหนาและสมบัติทางแสงของชั้นวัสดุ 2D ที่แตกต่างกันในระดับไมโครเมตรได้อีกด้วย.

Lorem ipsum dolor sit amet, pri et feugiat consulatu. Eu per ceteros platonem. Ea dictas legendos ius. At adhuc solum has. Nec at harum euripidis, habeo elitr patrioque ne mel. Mei probo oportere posidonium in, has ei everti volutpat consequat.