Park Ellipsometers มีฟีเจอร์เฉพาะหลายอย่างที่ช่วยให้สามารถมองเห็นผิวตัวอย่างแบบเรียลไทม์ โดยคุณจะเห็นโครงสร้างของตัวอย่างในระดับไมโครสเกลได้ทันที พร้อมทั้งสามารถวัดพารามิเตอร์ต่าง ๆ เช่น ความหนา ดัชนีหักเห และการดูดกลืนแสง รวมถึงสามารถสร้างแผนที่ (maps) ของบริเวณที่เลือกได้ นอกจากนี้ ยังสามารถผสานการทำงานร่วมกับเทคโนโลยีอื่น ๆ เช่น AFM, QCM-D, reflectometry, Raman spectroscopy และอื่น ๆ อีกมากมาย เพื่อให้ได้ข้อมูลเชิงลึกยิ่งขึ้นจากตัวอย่างของคุณ
Accurion EP4 เป็นเครื่องมือแบบโมดูลาร์ที่สามารถปรับคอนฟิกให้เหมาะกับงานวัดเฉพาะทางของคุณได้ โดย Accurion EP4 ที่ติดตั้งเลเซอร์มาตรฐานยังสามารถใช้งานเป็น Brewster angle microscope ซึ่งนิยมใช้ในงาน LB (Langmuir-Blodgett) ได้ด้วย.
Accurion EP4 เป็นเครื่องมือแบบโมดูลาร์ที่สามารถปรับคอนฟิกให้เหมาะกับงานวัดเฉพาะทางของคุณได้ โดย Accurion EP4 ที่ติดตั้งเลเซอร์มาตรฐานยังสามารถใช้งานเป็น Brewster angle microscope ซึ่งนิยมใช้ในงาน LB (Langmuir-Blodgett) ได้ด้วย.
ทำไมต้องใช้ Ellipsometry?
Ellipsometry เป็นเทคนิคที่วิเคราะห์การเปลี่ยนแปลงของโพลาไรเซชันของแสงหลังสะท้อนจากตัวอย่าง และให้ข้อมูลเกี่ยวกับฟิล์มบางที่มีความบางมากจนบางครั้งน้อยกว่าความยาวคลื่นของแสงที่ใช้ตรวจวัดด้วยซ้ำการเปลี่ยนแปลงของแอมพลิจูดและเฟสของแสงที่มีองค์ประกอบแบบ p และ s หลังการสะท้อนจากตัวอย่างนั้นขึ้นอยู่กับสมบัติของฟิล์ม เช่น ความหนา ดัชนีหักเห และการดูดกลืนแสง Ellipsometry ทำการวัดการเปลี่ยนแปลงของแอมพลิจูดและเฟสของแสงที่โพลาไรซ์แบบ s และ p โดยการหมุนส่วนประกอบโพลาไรเซชัน ค่าที่วัดได้คือ psi และ delta ซึ่งต้องนำไปใส่ในโมเดลคอมพิวเตอร์ที่จำลองโครงสร้างวัสดุของตัวอย่าง เพื่อคำนวณความหนา ดัชนีหักเห การดูดกลืน และสมบัติอื่น ๆ อีกหลากหลาย รวมถึงสัณฐานวิทยา คุณภาพผลึก องค์ประกอบทางเคมี และการนำไฟฟ้า
Ellipsometry เป็นเทคโนโลยีที่ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางสำหรับการวัดความหนาของฟิล์มหลายชั้น ดัชนีหักเห และการดูดกลืนแสง.
ทำไมต้องใช้ Imaging Ellipsometry?
Imaging ellipsometry เป็นการผสานเทคโนโลยี microscopy เข้ากับ auto-nulling ellipsometry ด้าน microscopy ช่วยให้สามารถมองเห็นตัวอย่างได้โดยตรงผ่านภาพที่มี ellipsometric contrast พร้อมความละเอียดเชิงพื้นที่เล็กถึง 1 ไมครอน รวมทั้งสามารถวัดพารามิเตอร์ ellipsometric ได้แก่ Delta และ Psi ด้วยความละเอียดเชิงพื้นที่สูงสุดถึงระดับ 1 ไมครอนเช่นกัน
สิ่งนี้ทำให้สามารถวิเคราะห์บริเวณตัวอย่างที่มีขนาดเล็กกว่าอุปกรณ์ ellipsometer แบบ non-imaging ที่ใช้ไมโครสปอตทั่วไปได้ถึง 1,000 เท่า Imaging ellipsometry ช่วยให้สามารถตรวจสอบความแปรผันของพารามิเตอร์ของตัวอย่างในระดับไมโครสเกล เทคโนโลยีนี้สามารถวัดงาน ex-situ แบบเดียวกับ non-imaging ellipsometer ได้ และยังทำได้มากกว่านั้น เหมาะสำหรับงานที่มีโครงสร้างเชิงพื้นที่ขนาด 50 มม. ลงไปจนถึง 1 ไมครอน รวมถึงตัวอย่างแบบแพตเทิร์น หรือชิ้นงานขนาดเล็กมาก เช่น ปลายแคนติลีเวอร์.
Accurion EP4 Unique Features
ความละเอียดเชิงพื้นที่ของ Ellipsometry ที่สูงที่สุด
การผสานเทคโนโลยี microscopy เข้ากับ auto-nulling ellipsometry ช่วยให้ได้ความละเอียดเชิงพื้นที่ในการวัดแบบ ellipsometric เล็กสุดถึงระดับ 1 ไมครอน.
MAGING ELLIPSOMETRY ในช่วงความยาวคลื่น 190–2750 นาโนเมตร
(New Feature)
ด้วยการใช้ grating monochromator ทำให้สามารถทำการวัดแบบสเปกโทรสโกปีได้อย่างต่อเนื่อง.
แพลตฟอร์มบูรณาการเทคโนโลยี
(New Feature)
รองรับการผสานเทคโนโลยีอื่น ๆ เช่น Raman, AFM เป็นต้น เพื่อให้ได้ข้อมูลที่หลากหลายและลึกยิ่งขึ้นจากตัวอย่างของคุณ.
รองรับการผสานเทคโนโลยีอื่น ๆ เช่น Raman, AFM เป็นต้น เพื่อให้ได้ข้อมูลที่หลากหลายและลึกยิ่งขึ้นจากตัวอย่างของคุณ.
คุณสมบัติเด่นหลากหลาย
(New Feature)
ประกอบด้วยฟีเจอร์และอุปกรณ์เสริมใหม่ ๆ จำนวนมาก ที่ช่วยขยายขอบเขตการใช้งาน ellipsometry ให้ครอบคลุมแอปพลิเคชันใหม่ ๆ ได้มากยิ่งขึ้น.
Accurion EP4 Selected Applications
GRAPHENE, 2D-MATERIALS
Imaging ellipsometry ช่วยให้สามารถมองเห็นเศษวัสดุแบบ 2D (2D-material flakes) บนวัสดุหรือซับสเตรตชนิดต่าง ๆ ได้โดยตรง ทั้งยังสามารถวัดความหนาและสมบัติทางแสงของชั้นวัสดุ 2D ที่แตกต่างกันในระดับไมโครเมตรได้อีกด้วย.
PHOTONICS, DISPLAYS, MEMS
เทคนิคของเราสามารถทำการวัดแบบสเปกโทรสโกปีบนพื้นที่ขนาดเล็กมากเพียงไม่กี่ไมครอนได้ โดยใช้แนวคิด ROI (region of interest) ที่จดสิทธิบัตรไว้ ซึ่งช่วยให้สามารถดึงข้อมูลได้หลายประเภทจากการวัดครั้งเดียว เช่น ความหนาฟิล์ม ดัชนีหักเห องค์ประกอบของวัสดุ และการปนเปื้อน.
เทคนิคของเราสามารถทำการวัดแบบสเปกโทรสโกปีบนพื้นที่ขนาดเล็กมากเพียงไม่กี่ไมครอนได้ โดยใช้แนวคิด ROI (region of interest) ที่จดสิทธิบัตรไว้ ซึ่งช่วยให้สามารถดึงข้อมูลได้หลายประเภทจากการวัดครั้งเดียว เช่น ความหนาฟิล์ม ดัชนีหักเห องค์ประกอบของวัสดุ และการปนเปื้อน.
AIR/WATER OR LIQUID/LIQUID INTERFACE
ผิวต่อระหว่างอากาศและน้ำเป็นประเด็นพื้นฐานที่มีความสำคัญทั้งในชีวฟิสิกส์และการประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรม Brewster angle/Liquid microscopy (BAM) เป็นเทคนิคที่ทรงพลังซึ่งช่วยให้สามารถมองเห็นชั้นฟิล์ม Langmuir-Blodgett แบบโมโนเลเยอร์ได้แบบเรียลไทม์.
ผิวต่อระหว่างอากาศและน้ำเป็นประเด็นพื้นฐานที่มีความสำคัญทั้งในชีวฟิสิกส์และการประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรม Brewster angle/Liquid microscopy (BAM) เป็นเทคนิคที่ทรงพลังซึ่งช่วยให้สามารถมองเห็นชั้นฟิล์ม Langmuir-Blodgett แบบโมโนเลเยอร์ได้แบบเรียลไทม์.
BIO INTERFACES
การประยุกต์ทางชีวภาพต้องการเทคนิคการสังเกตที่มีความไวสูง และยังจำเป็นต้องควบคุมสภาพแวดล้อมเพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบหรือความเสียหายต่อพฤติกรรมของวัสดุที่ต้องการศึกษา Imaging Ellipsometry (IE) มอบความไวสูงสุดในการวัดความหนาหรือการเคลือบผิวของชั้นโมโนเลเยอร์และซับโมโนเลเยอร์ พร้อมความละเอียดระดับไมโครสโคปี.
การประยุกต์ทางชีวภาพต้องการเทคนิคการสังเกตที่มีความไวสูง และยังจำเป็นต้องควบคุมสภาพแวดล้อมเพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบหรือความเสียหายต่อพฤติกรรมของวัสดุที่ต้องการศึกษา Imaging Ellipsometry (IE) มอบความไวสูงสุดในการวัดความหนาหรือการเคลือบผิวของชั้นโมโนเลเยอร์และซับโมโนเลเยอร์ พร้อมความละเอียดระดับไมโครสโคปี.
Powered by
MakeWebEasy.com